Palielinājums 4x – 500 000x. Iespējams noteikt parauga sastāva viendabīgumu (rezultāts – attēls), iespējams noteikt ķīmisko sastāvu konkrētā apgabalā (piemēram 1×1 µm), veikt punktveida ieslēgumu identifikāciju – nosaka paraugā esošos ķīmiskos elementus un to proporciju. Vizuāli var novērtēt poru izkliedi un sadalījumu, izmērīt poru, kristālu u.c. objektu izmērus. Var būt nesagraujoša analītiskā metode – paraugu neskartu iespējams saņemt atpakaļ. Komplektācijā ir arī elektrovadoša pārklājuma uzsmidzināšanas iekārta un inertas gāzes atmosfēra. Vairāk par ar SEM iegūstamajiem rezultātiem šeit.